霧是指光學(xué)零件的拋光面上，呈現(xiàn)出"露水"似的物質(zhì)，這些物質(zhì)有的是油質(zhì)點子構(gòu)成的，稱為油性霧；

有的是由水珠或水與玻璃起化學(xué)反應(yīng)形成堆積物構(gòu)成的，稱為水性霧；

有的光學(xué)零件上，兩種霧都有，叫做水油混合霧，一般的都以"露水"狀或干的堆積物存在于玻璃表面上。

油性霧通常分布在元形光學(xué)零件的邊緣，并向中央伸延，有的則沿擦拭痕跡分布，油性霧的形成主要是油脂污染了玻璃表面，或是由于油脂的擴散，揮發(fā)在玻璃表面凝結(jié)而造成的。

比如擦拭光學(xué)零件所用的輔料含脂量高，或者所用的工具帶有油脂，用手指直接拿取和觸及光學(xué)零件等，都會引起油性霧，或者是光學(xué)儀器上所用油脂的化學(xué)穩(wěn)定性不好，產(chǎn)生擴散或使用方法不當涂油過多，油脂擴散到光學(xué)零件上而引起油性霧，或者是由于儀表油脂揮發(fā)性很大，會產(chǎn)生油質(zhì)蒸氣而形成油性霧。

水性霧是由于潮濕空氣在溫度變化下而形成，主要分布在零件的全面積上，產(chǎn)生原因主要是潮濕氣體所致，但與儀器密封性能、光學(xué)玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，以及玻璃表面的清潔程度有關(guān)，在較高的相對濕度下，霉菌易生長，有些霉菌生長狀大后，便在菌絲體周圍產(chǎn)生分泌物，這些分泌物有的是液狀的，在液狀分泌物外圍便形成水性霧。